金属加工用レジスト エッチング用（ネガ型）
金属加工用レジスト
エッチング用（ネガ型）
PHOTORESIST / ETCHING — NEGATIVE TYPE
金属・ガラス・シリコンエッチング FMRシリーズ
環化ゴム系レジスト（溶剤現像型） 耐酸・耐アルカリ・フッ酸耐性に優れる 環化ゴム用剥離液で剥離可能
FMRシリーズ
汎用型。溶剤現像。耐酸・耐アルカリ性に優れる。対応粘度：最大600mPa・s
FMR-Gシリーズ
FMRの酸素阻害低減品。対応粘度：最大380mPa・s
金属エッチング・メッキ FDERシリーズ
アクリル系レジスト（弱アルカリ現像・強アルカリ剥離） 銅板・SUS板加工に好適
FDER-TF80X
汎用型。硬化膜が青色で視認性高い。酸性メッキ液・鉄液に耐性。
FDER-40L-GO
TF80Xの高解像度版。
金属エッチング FRシリーズ
カゼイン系レジスト（水現像型）危険物第四類非該当 耐酸性に優れる アルカリで剥離可能
FR-15
優れたコストパフォーマンス（カゼイン系）
FR-17
FR-15の高感度版
※ 記載品目は製品の一部です。用途に合わせた調整・改良も承っております。
金属加工用レジスト エッチング用（ポジ型）・リフトオフ用
金属加工用レジスト
エッチング用（ポジ型）・リフトオフ用
PHOTORESIST / ETCHING POSITIVE & LIFT-OFF PROCESS MATERIALS
金属・ガラスエッチング FPPRシリーズ（ポジ型）
ノボラック系レジスト（NQD系） フラットパネル・水晶基板加工・各種ウェット＆ドライエッチングに対応
FPPR-PETシリーズ
汎用型。フラットパネル、水晶基板等加工。
FPPR-AMシリーズ
高感度型。
リフトオフプロセス材料（スパッタ・蒸着工程） FNPR-Lシリーズ（ネガ型）
リフトオフ プロセス材料：技術情報
LIFT-OFF PROCESS MATERIALS：TECHNICAL INFORMATION
単独で逆テーパー形状を作成可能（一層型・一回露光） スパッタ・金属蒸着用途に好適
FNPR-Lシリーズ
汎用型。膜厚3〜15μm対応。スパッタ温度低い用途向け。高濃度アルカリ剥離可。
FNPR-NHLシリーズ
TF80Xの高解像度版。高耐熱性版。膜厚3〜8μm対応。専用剥離液で剥離可。
FNPR-HLシリーズ
NHLの高解像度版。膜厚0.5〜1μm対応。専用剥離液で剥離可。
※ 記載品目は製品の一部です。用途に合わせた調整・改良も承っております。
その他製品（自社製品）
その他製品（自社製品）
OTHER PRODUCTS — IN-HOUSE PRODUCTS
ウエハ工程用保護膜
シリコンウェハ―及びガラス用工程保護膜
NR-5
水に不溶。アルカリで剥離可能
※ 記載品目は製品の一部です。用途に合わせた調整・改良も承っております。
製品に関するお問い合わせ
PRODUCT INQUIRY
記載品目は製品の一部です。
用途に合わせた調整・改良も行っております。
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