⑦ フォトレジストとは?

光で「形」を描くための材料

フォトレジストは、光が当たると性質が変わる材料です。

半導体の元となるウエハ表面にごく薄く塗られ、回路の形が描かれたマスクを通して光を当てることで、光が当たった部分と当たらなかった部分で性質が変化します。

その後、薬品で処理することで必要な部分だけを残し、目に見えないほど細かな回路の「型」が作られます。

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半導体構造の

フォトレジスト工程

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